在黃磷廠濕電除塵器中對粉塵顆粒有兩種類型的荷電過程，對于直徑大于1μm的顆粒來說場荷電是主要作用，顆粒碰撞沿電力線運動的負離子而帶電，這時電壓的強弱是影響這個過程的最主要因素。對直徑大于0.5μm的顆粒來說擴散荷電是主要作用，亞微米粒子在隨機運動時與負離子碰撞而帶電，注入的電流密度是影響擴散放電最重要的因素。濕電除塵器中，因放電極被水浸潤后，電子較易溢出，同時水霧被放電極的強大電火花進一步擊碎細化，使電場中存在加上大量帶電霧滴，大大增加亞微米粒子碰撞帶電的機率，而帶電粒子在電場中運動的速度是布朗運行的數十倍，這樣就大幅度提高了亞微米粒子向集電極運行的速度，可以在較高的煙氣流速下，捕獲更多的微粒。

研究表明，在高于露點溫度以上時，煙氣中的SO3在205℃（400F）以下時，主要以H2SO4的微液滴形式存在。其平均顆粒的直徑在0.4μm以下，屬于亞微米顆粒范疇。黃磷廠濕電除塵器對亞微米顆粒的高捕獲率，可對SO3的微液滴起相同作用。

因此黃磷廠濕電除塵器能夠高效地去除亞微米粒子，霧滴，小至0.01μm的微塵，除塵效率根據運行的電場數不同一般都可達到99.9 %以上。